采用音圈電機(jī)和氣浮導(dǎo)軌，無摩擦運(yùn)動(dòng)，具備了氣浮平臺(tái)的所有優(yōu)點(diǎn)，
平臺(tái)上下移動(dòng)的平面為水平配置，
剛性優(yōu)異，精度超高。
采用音圈電機(jī)和氣浮導(dǎo)軌，無摩擦運(yùn)動(dòng)，具備了氣浮平臺(tái)的所有優(yōu)點(diǎn)，
平臺(tái)上下移動(dòng)的平面為水平配置，
剛性優(yōu)異，精度超高。
| 參 數(shù) | ABVT-Z20 | -Z38 |
| 有效行程 mm | 20 | 38 |
| 光柵分辨率 μm | sin\cos4.88nm（可選其它更高分辨率） | |
| 重復(fù)定位精度 nm | ±50 | |
| 定位精度 nm | ±150 | |
| 平面度 μm | 1 | 1.5 |
| 直線度 μm | 0.5 | 0.7 |
| 電機(jī)類型 | 音圈電機(jī) | |
| 電機(jī)推力 | 持續(xù)27N/峰值119N | 持續(xù)45N/峰值192N |
| 最大速度 mm/s | 50 | |
| 最小步長(zhǎng)nm | 10 （搭配nanopwm或者線性驅(qū)動(dòng)器） | |
| 最大負(fù)載 kg | 6kg（采用氣動(dòng)恒力彈簧平衡） | |
